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[应用题,10分] 微传感器

答案是:是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。 参考解析: 暂无


出自 河南理工大学-电气工程及其自动化-检测技术及应用  联大系统

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